序号

指标

含量

序号

指标

含量

1

POCL₃

6N～7N

20

锶(Sr)

<5ppb

2

镉(Cd)

<5ppb

21

铍(Be)

<5ppb

3

镓(Ga)

<5ppb

22

硼(B)

<5ppb

4

钴(Co)

<5ppb

23

铁(Fe)

<5ppb

5

锰(Mn)

<5ppb

24

钾(K)

<5ppb

6

铂(Pt)

<5ppb

25

镁(Mg)

<5ppb

7

钛(Ti)

<5ppb

26

镍(Ni)

<5ppb

8

铝(Al)

<5ppb

27

铊(Tl)

<5ppb

9

砷(As)

<5ppb

28

银(Ag)

<5ppb

10

钙(Ca)

<5ppb

29

钒(V)

<5ppb

11

金(Au)

<5ppb

30

铋(Bi)

<5ppb

12

铜(Cu)

<5ppb

31

锌(Zn)

<5ppb

13

钼(Mo)

<5ppb

32

锡(Sn)

<5ppb

14

钡(Ba)

<5ppb

33

锆(Zr)

<5ppb

15

铅(Pb)

<5ppb

34

锗(Ge)

<5ppb

16

铬(Cr)

<5ppb

35

铌(Nb)

<5ppb

17

铟(In)

<5ppb

36

钯(Pd)

<5ppb

18

锂(Li)

<5ppb

37

钽(Ta)

<5ppb

19

钠(Na)

<5ppb

38

钨(W)

<5ppb