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电子级膦烷 |
产品名称：膦烷
别名：磷化氢膦
产品用途：高纯磷烷主要用于集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺，是集成电路生产过程中所必需的化学品，广泛应用于光伏、IC产业。
包装储运： 按照客户要求包装
。
质量标准：本产品符合SEMI-C7要求，产品规格及指标如下：
序号 |
指标 |
含量 |
1 |
PH3≥ |
99.999% |
2 |
N2< |
10PPm |
3 |
H2≤ |
2PPm |
4 |
O2< |
2PPm |
5 |
THC< |
3PPm |
6 |
AsH3< |
2PPm |
7 |
H2O< |
10PPm |
8 |
CO2< |
10PPm |
制 造 商：湖北天湖化工有限公司
联 系 人：陈书智（女士）；王军民（先生）
联系电话：15926076688 0728-4719166；13872992088 0728-4719558
传 真：0728-4717698
邮 箱：wjmlw@163.com
网 址：www.Tianhuchem.com
企业地址：湖北省天门市岳口镇西郊化工工业园区特2号
邮 编：431702 |
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